반도체 제조의 핵심 EUV 독점 기술 세계 유일의 노광 장비기업 ASML: 그 대단한 제품 가격

ASML 기업 및 제품 정보

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반도체 제조의 핵심 EUV 독점 기술 세계 유일의 노광 장비기업 ASML: 그 대단한 제품 가격

ASML 기업 및 제품 종합 정보

반도체의 미세한 회로를 새기는 노광 기술은 최첨단 칩 제조의 핵심입니다. 그중에서도 ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV 극자외선 노광장비를 양산하는 기업으로, 7nm 이하 초미세 공정의 칩을 만드는 데 없어서는 안 될 존재입니다.
네덜란드에서 시작한 이 기업은 오늘날 글로벌 반도체 공급망 전체를 좌우할 만큼 강력한 기술력을 갖추고 있습니다. 한 대 가격이 최대 수천억 원에 달하는 고가의 장비를 통해 삼성전자, TSMC, 인텔 등 세계 최고의 칩 제조사들이 기술 경쟁을 펼칠 수 있도록 뒷받침하고 있습니다.
EUV와 DUV 기술로 반도체의 한계를 계속 뛰어넘는 ASML, 바로 이곳이 미래 IT 산업의 기초를 다지고 있습니다.


기업 개요

  • 정식 명칭: ASML Holding N.V.
  • 본사: 네덜란드 펠트호벤
  • 설립: 1984년 (필립스와 ASMI 합작 설립)
  • 시장 지위: 세계 유일의 EUV 극자외선 노광장비 제조사, 글로벌 리소그래피 장비 시장 점유율 약 80% 이상
  • 주요 사업: 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 노광장비, 계측·검사 장비, 관련 소프트웨어 및 서비스 공급
  • 주요 고객: TSMC, 삼성전자, 인텔, SK하이닉스, 마이크론 등 글로벌 반도체 기업

화려한 수식어로 ASML을 말한다

  1. ASML: 반도체 미래를 만드는 세계 유일의 기술 독점 기업
  2. 칩 산업의 심장, ASML — 노광 장비로 세상을 움직이다
  3. 1대에 6천억 원! ASML이 왜 반도체 업계의 최강자인가
  4. EUV 기술 하나로 지배하는 ASML: 미세 공정의 한계를 뛰어넘다
  5. 네덜란드의 작은 기업이 글로벌 반도체 공급망을 좌우하는 이유

제품 목록 및 주요 사양

1) EUV (극자외선 노광장비) – 최첨단 공정용

기본 파장: 13.5nm / 반사광학계 사용

모델명 개구수(NA) 처리량(WPH) 해상도 적용 공정
NXE:3600D 0.33 160 13nm 7nm ~ 3nm
NXE:3800E 0.33 220 8nm 5nm ~ 2nm
EXE:5000 0.55 (High-NA) 180 7nm 2nm 이하 R&D
EXE:5200B 0.55 (High-NA) 220+ 5nm 이하 1.4nm ~ 1nm

2) DUV (심자외선 노광장비) – 범용·성숙 공정용

  • ArF 침지형 (193nm)
    • NXT:2100i – NA 1.35, 처리량 275 WPH, 14nm~7nm 다중패터닝
    • NXT:2050i – NA 1.35, 처리량 250 WPH, DRAM/HBM/NAND 양산
  • ArF 건식 (193nm)
    • XT:1950Gi – NA 0.93, 처리량 200 WPH, 28nm 이상 공정
  • KrF (248nm)
    • XT:860M – NA 0.93, 처리량 240 WPH, 65~130nm / 전력반도체
  • i-line (365nm)
    • XT:260 – NA 0.63, 대면적 노광, 패키징·이미지센서용

3) 기타 제품군

  • YieldStar: 오버레이·초점·선폭 계측 시스템
  • HMI: 공정 제어 소프트웨어, 노광 정밀도 실시간 보정
  • 서비스: 장비 업그레이드, 부품 공급, 현장 기술 지원

ASML의 제품 모델별 판매 가격 (2026년 7월 기준)

* 기본 구성 평균 거래가이며, 설치·운송·유지보수·라이선스는 별도. 계약 조건에 따라 ±5~10% 변동 가능합니다.

🟣 EUV 장비

모델명 개구수 미화 달러 기준 한화 약 기준 주요 용도
NXE:3400B 0.33 $1.5억 ~ $1.7억 2,100 ~ 2,380억원 7nm ~ 5nm
NXE:3600D 0.33 $1.75억 ~ $1.9억 2,450 ~ 2,660억원 5nm ~ 3nm
NXE:3800E 0.33 $1.95억 ~ $2.2억 2,730 ~ 3,080억원 3nm ~ 2nm
EXE:5000 0.55 High-NA $3.5억 ~ $3.8억 4,900 ~ 5,320억원 2nm 이하 연구개발
EXE:5200B 0.55 High-NA $3.9억 ~ $4.2억 5,460 ~ 5,880억원 1.4nm ~ 1nm 양산

🔵 DUV 장비

모델명 종류 미화 달러 기준 한화 약 기준 주요 용도
NXT:2100i ArF 침지 $0.85억 ~ $0.95억 1,190 ~ 1,330억원 14nm ~ 7nm
NXT:2050i ArF 침지 $0.8억 ~ $0.9억 1,120 ~ 1,260억원 메모리·HBM
XT:860M KrF $0.25억 ~ $0.32억 350 ~ 450억원 전력반도체
XT:260 i-line $0.08억 ~ $0.15억 110 ~ 210억원 패키징·센서

📌 기타 제품

  • YieldStar 계측장비: 대당 $1,500만 ~ $3,500만
  • HMI 공정제어 SW: 연간 라이선스 $200만 ~ $800만
  • 유지보수 비용: 연간 구매가의 10~15% 수준

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